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净化系统(双柱)
净化系统(双柱)
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二个气体纯化柱

气体纯化柱吸附饱和后,可用氢气和氩气或氮气的混合气再生,恢复其吸附能力。

二个气体纯化柱,一备一用。

一个有机溶剂吸附柱
一个循环风机
电气动控制的循环主阀




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